ISO 14644明確規(guī)定此項測試，并指出特別是對于1～5級高級別潔凈室應有效的進行此項測試。此項測試的目的是用以測定有無受污染的空氣從周圍具有相同或不同靜壓的非受控區(qū)侵入到潔凈區(qū)，以評估潔凈室受周邊污染的風險，為采取相應措施提供依據。此項測試可采用離散粒子計數器或氣溶膠光度計。
1、使用離散粒子計數器測試污染滲漏
（1）測量緊靠被評估潔凈室外部的粒子濃度，該濃度應該比潔凈室高出10⁴倍，并且其濃度至少等于3.5*10⁶個待測粒徑的粒子。如果濃度小于該值，為確保測試的可靠性應使用氣溶膠發(fā)生器生成氣溶膠，以提高相鄰外部空氣中懸浮粒子的濃度。
（2）檢查通過施工接縫或裂縫的滲漏情況時，要在潔凈室內離待測縫隙或嚙合面5～10cm距離上進行掃描，其掃描速度約為5cm/s。
（3）當檢查敞開門廊處的侵入情況時，應在潔凈室內距開敞門口0.3～3.0m的距離上測量。
（4）記錄并報告較所測得的外部氣溶膠粒子濃度大于10^-3倍的讀值。
2、使用氣溶膠光度計測試污染滲漏
按照在現場檢漏高效空氣過濾器時相同的要求，在潔凈室或潔凈設施處生成足夠高濃度的氣溶膠，使得氣溶膠光度計在0.1%設定值時超負荷，氣溶膠光度計在0.1%設定值的讀值超過0.01%就表明有滲漏。
當檢查通過施工裂縫或焊縫的滲漏情況時，要在離待測縫或密封表面5～10cm的距離上掃描封閉體內部，掃描速度約為5cm/s。
當檢查敞開的門廊處的侵入情況時，在距離敞開的門0.3～1m的距離上測量封閉體內部的濃度。
記錄并報告所有超過氣溶膠光度計0.01%標度的讀數。
3、測試報告
除去測試報告常規(guī)的各項內容外，還應特別報告：
（1）數據采集方法及相關細節(jié)；
（2）測量點的位置；
（3）測量工作在潔凈室所處何種狀態(tài)下進行。